両面顕微鏡システム『TOMOS-50』
表裏の位置ずれ／寸法測定顕微鏡をご紹介。高精度、低価格化を実現しました
『TOMOS-50』は、水晶振動子、MEMS、半導体等の電子部品の表裏を 同時に撮影、±0.2μm以下の精度で測定できるコンパクトタイプの 表裏位置ずれ計測システムです。 表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正可能。 また、装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売もしております。 お問い合わせください。 【特長】 ■コンパクトタイプ ■約300万画素 ■表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ■表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ■±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様(一部)】 ■光学系 ・鏡筒：2(正立、倒立) ・対物レンズ：2(5、10、20、50倍から選択) ・Z粗微動調整：手動(正立、倒立) ■計測部 ・測定再現性：±0.2μm以下(測定条件により変わる) ・PC-OS：Windows10 ・表示モニター：2画面表示 ■ソフト ・表裏光軸補正機能 ・表裏同時撮影、画像ファイリング ・表裏寸法測定 ・表裏位置ずれ測定 など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■観察：電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、フィルターなどの表裏同時観察 ■表裏位置ずれ計測：インクジェットノズル、水晶振動子、MEMSなどの表裏位置ずれ計測 ■表裏寸法計測：水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
