微小線幅測定システム『LW-3200／MT-3200』
ご使用の顕微鏡に取り付け簡単、システムアップ！様々なエッジ検出指定が可能です
『LW-3200／MT-3200』は、半導体ウェハー、液晶カラーレジストなどの 微小線幅を3σ＝10nmの繰り返し精度で測定できるシステムです。 ネガ、ポジ、インサイド、アウトサイドなど線の種類に応じて、 様々なエッジ検出指定が可能。 傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定ができます。 また、オプションとして簡単操作、高精度AFと組み合わせ可能です。 ※納品までに一定の期間をいただく場合がございますのでご了承ください。 【特長】 ■3σ＝10nmの繰り返し精度で測定 ■線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能 ■傾いている線も、検出した線に対して垂直に測定できる ■簡単操作、高精度AFと組み合わせ可能(オプション) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【画像処理部仕様(一部)】 ■デジタル画像測定器 ・測定内容：線幅、円径(円弧、面積、角度、エッジ、間隔) ■測定再現性：3σ＝0.01μm(対物100倍、AF動作にて繰り返し測定) ■最小表示：0.001μm ■線幅エッジ検出：ネガ、ポジ、内‐内、外‐外、内‐外、ボトム‐ボトムなど選択可能 ■校正値：レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能 ■データ出力：測定結果のCSVデータ、測定結果画像(BMP／JPG)の保存が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■微小線幅測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
