微小線幅測定システム『VP-5LW』
簡単操作、高精度AF機能を標準搭載！微小線幅を3σ=10nmの繰り返し精度で測定
『VP-5LW』は、Z軸ステージモーター出力ドライバ、オートフォーカス機能、 計測ソフトウェア、Windows OSを搭載したオールインワン型微小線幅測定器です。 半導体ウェハー、液晶カラーレジストなどの微小線幅を3σ=10nmの 繰り返し精度で測定。(対物レンズ100倍時) 線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定ができ、傾いている線も検出した線に 対して垂直に測定が可能です。 ※納品までに一定の期間をいただく場合がございますのでご了承ください。 【特長】 ■AF機能標準搭載 ■300万画素モノクロカメラ ■独自開発のAF画像処理ユニット ■線の種類に応じて、様々なエッジ検出指定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様(一部)】 ■デジタル画像測定器 ・測定内容：線幅、円径 ■測定再現性：3σ=0.01μm(対物100倍、基準スケールをAF動作にて繰り返し測定) ■最小表示：0.001μm ■線幅エッジ検出：ネガ、ポジ、内‐内、外‐外、内‐外、ボトム‐ボトムなど選択可能 ■校正値：レンズ倍率にあわせて20種類登録が可能 ■データ出力：測定結果のCSVデータ、測定結果画像(BMP/JPG)の保存が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■微小線幅測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
