両面顕微鏡システム『TOMOS-60XY』
XY電動ステージとオートフォーカス機能を搭載！ソフトウェアなどのカスタマイズも対応
『TOMOS-60XY』は、ワークの複数箇所を自動測定できる6インチ電動 XYステージ 両面顕微鏡システムです。 あらかじめ指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、 MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークの ずれを自動測定することが可能。 また、XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能を 搭載し、正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。 【特長】 ■円、四角、十字等のアライメントマークのエッジを 自動検出し、中心座標同士のずれを測定 ■XYZステージ制御条件、測定条件、マップ作成、 レシピ登録し、ワークの複数個所を自動測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【ソフト機能】 ■表裏光軸補正 ■表裏レンズ倍率補正 ■カメラ取付θ補正 ■表裏同時撮影、ファイリング ■表裏位置ずれ自動計測 ■電動ステージ制御、マップ作成 ■移動アライメント補正 ■連続移動運転測定 ■表裏寸法自動計測(OP) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
