両面顕微鏡システム『TOMOSシリーズ』
顕微鏡表裏の光軸ずれ､対物レンズ倍率のバラツキ､カメラのθずれを画像で補正！
当社で取り扱う、両面顕微鏡システム『TOMOSシリーズ』について ご紹介いたします。 4インチステージの「TOMOS-50」、6インチステージの「TOMOS-60」を はじめ、広視野リング照明付きの「TOMOS-50R1」などをラインアップ。 水晶振動子、MEMS、電子部品などの表裏を同時に撮影します。 表と裏をひっくり返す手間無く寸法測定も可能です。 【TOMOS-50/60 特長】 ■水晶振動子、MEMS、半導体ウエハ、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度 ±0.3μm精度で測定可能 ■表裏顕微鏡の光軸ずれ、レンズ倍率誤差、カメラθずれを高精度に 画像処理補正 ■オートフォーカス機能、電動XYステージにも対応(オプション) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【TOMOS-50R1 特長】 ■水晶振動子、MEMS、プリント基板の穴、電子部品の表裏を同時に撮影 ■表裏のパターンやアライメントマークのずれを繰り返し精度 ±0.010mm精度で測定可能 ■表裏顕微鏡の光軸ずれ、レンズ倍率誤差、カメラθずれを高精度に 画像処理補正 ■撮影視野1倍での両面広視野撮影が可能(視野9mm×7mm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
