【半導体向け】両面顕微鏡システム『TOMOS-50』
半導体製造における異物検査をサポート。高精度測定を実現。
半導体業界では、製品の品質を確保するために、製造プロセスにおける異物混入の検出が重要です。異物は、製品の性能低下や不良品の発生につながる可能性があります。両面顕微鏡システム『TOMOS-50』は、半導体部品の表裏を同時に撮影し、±0.2μm以下の精度で異物の検出を可能にします。これにより、製造工程における品質管理を強化し、歩留まりの向上に貢献します。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハの異物検査 ・電子部品の異物検査 ・MEMSデバイスの異物検査 【導入の効果】 ・異物混入による不良品の削減 ・品質管理の効率化 ・製品信頼性の向上
基本情報
【特長】 ・コンパクトタイプ ・約300万画素 ・表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能 ・表裏光軸補正はマイクロステージ＋ソフトウェアで高精度に補正 ・±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定(条件により異なる) 【当社の強み】 当社は、業務用のデジタルカメラおよび映像関連システムの開発・製造・販売を行っています。新しい技術と大胆な発想で、お客様のニーズに合わせた最適なソリューションを提供します。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■観察：電子ペーパーの電気泳動、粒子、流体、フィルターなどの表裏同時観察 ■表裏位置ずれ計測：インクジェットノズル、水晶振動子、MEMSなどの表裏位置ずれ計測 ■表裏寸法計測：水晶振動子、半導体線幅パターンなどの表裏寸法計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
