システム【流量制御機器】FCS Thermal Series
熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
基本情報
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
◆詳細製品カタログをご参照願います。
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この製品に関するニュース（12）
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【カタログ更新】ニードルストップバルブ/メタルダイヤフラムバルブ/UJR継手/UPG継手/FCS-T/FCS-P
カタログを改訂しました。 バルブ 「NEW US-VALVES 満弁くん ニードルストプバルブ」 「メタルダイヤフラムバルブ NEW MEGA series」 継手 「メタルガスケット継手 UJR継手・自動溶接継手」 「高性能超小型ガスケット接手 UPG継手」 システム 「マスフローコントローラー FCS Thermal Series」 「フローコントロールシステム FCS Pressure Series」 関連製品情報より、ご確認ください。
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【展示会】9/17～9/20「INCHEM TOKYO 2025」出展情報
最新の化学工学技術が集結する総合展示会 「INCHEM TOKYO 2025」に出展します。 弊社ブースでは、精密制御を可能にするコントロールバルブや 水素社会に向けた「超高圧水素ガス適合バルブ機器」、 継手、流体制御機器を展示します。 ＜イチオシ製品＞ １．SR100 全閉⇔全開0.6秒以下の比例ソレノイド アクチュエータを搭載することで、 非常に早い位置決め制御を可能にします。 ★また、「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、 便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中！ この機会に是非ご登録の上、お越しください！
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【展示会】9/18～9/20「VACUUM2024真空展」出展情報
日本最大級の真空機器・真空装置の総合展示会 「VACUUM2024真空展」に出展します。 弊社ブースでは、マスフローコントローラー 「FCS Pressure Series」をはじめとした、 超高純度・高気密性が求められる 真空ラインに適した製品を多数出展いたします。 出展予定製品 ・FCS Pressure Series ・FCS Thermal Series ・集積化ガスシステム（IGS） ・ニューV-Lok ・PUREシリーズ 等 ★「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、 便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中！ この機会に是非ご登録の上、お越しください！
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【展示会】11/29～12/1「VACUUM2023 真空展」出展情報
日本最大級の最先端真空技術が集結する総合展示会 「VACUUM2023 真空展」に出展します。 弊社ブースでは、マスフローコントローラー 「FCS Pressure Series」をはじめとした、 超高純度流体・高気密性が求められる 真空ラインに適した製品を多数出展いたします。 ＜出展製品＞ ・FCS Pressure Series ・FCS Thermal Series ・集積化ガスシステム（IGS） ・ニューV-Lok ・PUREシリーズ 等 ★また、「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、 便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中！ この機会に是非ご登録の上、お越しください！
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【展示会】9/20～9/22「INCHEM TOKYO 2023」出展情報
最新の化学工学技術が集結する総合展示会 「INCHEM TOKYO 2023」に出展します。 弊社ブースでは、精密制御を可能にするコントロールバルブや 水素社会に向けた「超高圧水素ガス適合バルブ機器」、 継手、流体制御機器を展示します。 ＜イチオシ製品＞ １．SR100 全閉⇔全開0.6秒以下の比例ソレノイド アクチュエータを搭載することで、 非常に早い位置決め制御を可能にします。 ★また、「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、 便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中！ この機会に是非ご登録の上、お越しください！
取り扱い会社
フジキンは特殊バルブ機器を中心とする、最先端の超精密流体制御システムメーカーです。1930年の創業以来、常に極限に挑戦し、技術の究極を超えることを企業ポリシーとしてきました。半導体分野をはじめ、水素、製薬、分析・計測、宇宙分野など、幅広いフィールドで人々の暮らしと社会を支えています。私たちはこれからも、流体制御機器・システムの総合技術で持続可能な社会に貢献していきます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
