システム【流量制御機器】FCS Pressure Series
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
基本情報
1. 供給圧力が変動に対して、制御流量は影響を受けません。 2. 応答時間が早い(0.5秒以下) 3. 優れた制度(標準タイプの場合で±1.0%S.P.以内) 4. MGMR(マルチガス・マルチレンジ)機能搭載 5. 取付姿勢の影響を受けません。 6. 流量自己診断機能を搭載 7. ガス種を選びません 8. RoHS対応
価格帯
納期
用途/実績例
◆詳細製品カタログをご参照願います。
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【カタログ更新】ニードルストップバルブ/メタルダイヤフラムバルブ/UJR継手/UPG継手/FCS-T/FCS-P
カタログを改訂しました。 バルブ 「NEW US-VALVES 満弁くん ニードルストプバルブ」 「メタルダイヤフラムバルブ NEW MEGA series」 継手 「メタルガスケット継手 UJR継手・自動溶接継手」 「高性能超小型ガスケット接手 UPG継手」 システム 「マスフローコントローラー FCS Thermal Series」 「フローコントロールシステム FCS Pressure Series」 関連製品情報より、ご確認ください。
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【展示会】9/17~9/20「INCHEM TOKYO 2025」出展情報
最新の化学工学技術が集結する総合展示会 「INCHEM TOKYO 2025」に出展します。 弊社ブースでは、精密制御を可能にするコントロールバルブや 水素社会に向けた「超高圧水素ガス適合バルブ機器」、 継手、流体制御機器を展示します。 <イチオシ製品> 1.SR100 全閉⇔全開0.6秒以下の比例ソレノイド アクチュエータを搭載することで、 非常に早い位置決め制御を可能にします。 ★また、「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、 便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中! この機会に是非ご登録の上、お越しください!
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【展示会】9/18~9/20「VACUUM2024真空展」出展情報
日本最大級の真空機器・真空装置の総合展示会 「VACUUM2024真空展」に出展します。 弊社ブースでは、マスフローコントローラー 「FCS Pressure Series」をはじめとした、 超高純度・高気密性が求められる 真空ラインに適した製品を多数出展いたします。 出展予定製品 ・FCS Pressure Series ・FCS Thermal Series ・集積化ガスシステム(IGS) ・ニューV-Lok ・PUREシリーズ 等 ★「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、 便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中! この機会に是非ご登録の上、お越しください!
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【展示会】12/13~12/15「SEMICON Japan 2023」出展情報
半導体製造装置・材料の国際展示会 「SEMICON Japan 2023」に出展します。 弊社ブースでは、半導体製造装置にかかせない、 高気密性・高耐久性を兼ね備えたバルブや、流体制御機器、 医薬品・食品ライン向けのソフトダイヤフラムバルブ等を展示します。 ========================= また、今回初、【継手施工体験会】を開催します!! フジキン展示ブース内にて、実際に継手を使いながら、 講師が施工説明を行います。(参加費無料) 対象製品:ニューV-Lok、UJR/UPG、IGS 普段は聞けない、基礎の基礎からお話しするので、 初心者の方もベテランの方も、是非お越しください。 ========================= ★また、「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、 便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中! この機会に是非ご登録の上、お越しください!
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【展示会】11/29~12/1「VACUUM2023 真空展」出展情報
日本最大級の最先端真空技術が集結する総合展示会 「VACUUM2023 真空展」に出展します。 弊社ブースでは、マスフローコントローラー 「FCS Pressure Series」をはじめとした、 超高純度流体・高気密性が求められる 真空ラインに適した製品を多数出展いたします。 <出展製品> ・FCS Pressure Series ・FCS Thermal Series ・集積化ガスシステム(IGS) ・ニューV-Lok ・PUREシリーズ 等 ★また、「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、 便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中! この機会に是非ご登録の上、お越しください!
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フジキンは特殊バルブ機器を中心とする、最先端の超精密流体制御システムメーカーです。1930年の創業以来、常に極限に挑戦し、技術の究極を超えることを企業ポリシーとしてきました。半導体分野をはじめ、水素、製薬、分析・計測、宇宙分野など、幅広いフィールドで人々の暮らしと社会を支えています。私たちはこれからも、流体制御機器・システムの総合技術で持続可能な社会に貢献していきます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。