株式会社フジキン『センシェントバルブ』IoTバルブ
バルブの開閉をセンシングします!
基本情報
■半導体製造装置用 超小型IoTバルブ 超小型ダイヤフラムバルブに小型センサを搭載することで、 超小型IGS(集積化ガス供給システム)にてIoT化を実現し、 正確な開閉検知が可能になりました。 ・耐久性:400万回(実験値) ・使用温度:-10~+80℃ ※2022年 第19回超モノづくり部品大賞 機械・ロボット部品賞 受賞製品! ■高耐久IoTバルブ 高耐久バルブにセンサを搭載することで、 安定したセンシングが可能になりました。 ・耐久性:1億回(実験値) ・使用温度:-10~+80℃ ■高温・高耐久IoTバルブ 高耐久バルブに高温対応センサを搭載することで、高温条件下においても 安定したセンシングが可能になりました。 ・耐久性:3,000万回(実験値) ・使用温度:-10~+150℃
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取り扱い会社
フジキンは特殊バルブ機器を中心とする、最先端の超精密流体制御システムメーカーです。1930年の創業以来、常に極限に挑戦し、技術の究極を超えることを企業ポリシーとしてきました。半導体分野をはじめ、水素、製薬、分析・計測、宇宙分野など、幅広いフィールドで人々の暮らしと社会を支えています。私たちはこれからも、流体制御機器・システムの総合技術で持続可能な社会に貢献していきます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。