ステッピングモータ駆動式超精密減圧弁 「RS.M/Sシリーズ」
感度0.1%F.S. ヒステリシス0.1%F.S.という高精度の空気圧制御
●独自構造により微細な圧力調整が簡単にできます。 ●リリーフ感度が優れている為，高精度な圧力制御が可能です。 ●5 相ステッピングモータ駆動により，1 ステップの駆動で設定圧をわずかだけ，確実に変えることができます。マイクロステップ駆動にすれば，圧力分解能0.1kPa 以下の高分解能設定が可能です。
基本情報
●優れた特性 リリーフ特性，圧力特性，流量特性が非常に優れています。 リリーフ最小圧力（リリーフ感度）は0.03kPa（理論計算値） ●優れた始動安定性 長時間使用しなかった後でも以前の設定のまま始動しますので、再調整は 必要ありません。 ●長期間の圧力安定性 圧力設定後，設定圧を長期間正確に保持します。 設定後の圧力降下はほとんどありません。 ●停電しても圧力を保持 突然の停電でも，2 次圧は設定圧を保持します。
価格帯
納期
用途／実績例
精密かつ精度を必要とする装置にて採用されております。 ● 可動部の重量キャンセル ⇒液晶貼り合わせ、装置重量キャンセラー ● 精密押圧コントロール ⇒各種ボンディング、マウンター装置・半導体、液晶製造の周辺機器 ● 工作機械 ⇒ナノ加工機、研磨機、溶接機等 弊社シリンダ 【エアベアリングシリンダ】との組み合わせにより より高度な制御が可能になります！
取り扱い会社
工業用ゴム部品の他、流体制御機器、除振台およびその周辺機器、印刷機材、電気・電子機器、救難救命具等産業資材、ゴルフ用カーボンシャフトの製造販売等様々な分野で幅広く事業を展開しています。
