制御機器 （液晶・半導体製造/繊維機械/医療機器分野）
制御機器 （液晶・半導体製造/繊維機械/医療機器分野）
精密＆高精度な用途向けの空圧機器の設計・開発・販売を行っています。 BFダイヤフラムを使用した、低摩擦が特徴であるBFシリンダや、当社が製作を得意としているDFを使用した減圧弁、小型のリリーフ弁、チェック弁など、 精密・高精度をキーワードにした物をご用意しております。
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ステッピングモータ駆動式超精密減圧弁 「RS.M/Sシリーズ」
感度0.1%F.S. ヒステリシス0.1%F.S.という高精度の空気圧制御
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比例弁ユニット 「VFRシリーズ」
減圧弁と流量比例弁の一体品！
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小型減圧弁 「RA/RBシリーズ」
小型で軽量（130g）な汎用減圧弁！
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小型精密減圧弁 「RP2シリーズ」
性能とサイズの両方を兼ね備えた減圧弁！
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超小型精密減圧弁 「RG1シリーズ」
クラス最小、最軽量！
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薄型精密減圧弁 「RP1シリーズ」
省スペースでの取付けやコンパクトな設計に最適です！
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リリーフ弁 「VR1シリーズ」
開閉圧の差が小さく高精度のリリーフ圧を実現しています。
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樹脂逆止弁 「VC-Pシリーズ」
小型・軽量：(外形φ18，約3g)の樹脂逆止弁になります。
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精密真空減圧弁 「RVシリーズ」
優れた圧力精度をもつ負圧対応レギュレータ
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電空変換器 「RTシリーズ」
優れた分解能をもつ電空レギュレータ
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精密減圧弁 「RPシリーズ」
高い精度をもった直動型のエアレギュレータ
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超精密減圧弁 「RS／RRシリーズ」
高精度かつ優れた分解能、圧力特性に特化したエアレギュレータ
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薄型シリンダ 「TCシリーズ」
高さ20mm以下の極薄ダイヤフラムシリンダです。
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位置センサ付きシリンダ 「PCシリーズ」
BFダイヤフラムの特長をつめ込んだJIS準拠形状のBFシリンダ！
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リニアボールベアリング型シリンダ 「SCシリーズ」
軸受にリニアボールベアリングを組み込み耐横荷重性がアップ！！
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摩擦抵抗ゼロ「エアベアリングシリンダ」
摩擦抵抗ゼロを実現。エアベアリングを採用した摩耗も発塵もないシリンダが新登場
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低摺動エアシリンダ「BFダイヤフラム式シリンダ 」
国内唯一のローリングダイヤフラムを使ったエアシリンダ
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SUS製 液体減圧弁 RF-S シリーズ
接液部がSUS316、316(L)、FKM、POMなので、様々な液体に対応可能！
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チェック弁『VC-Pシリーズ』
酸素濃縮器をはじめ、人工気腹装置や歯科機器 、各種分析装置などの用途に好適！
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液体用流量制御弁『VFシリーズ』
PWM制御が可能！様々な液体に対応できる材質構成の液体用流量制御弁です
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小型樹脂減圧弁『RG2シリーズ』
M5ポート接続！小流量領域でも優れた圧力特性を有する小型樹脂減圧弁です
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バッテリーレス 液体検知システム
微量の液体漏れを検知可能！センサ部自体が発電するので電源は一切不要です。
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摩擦抵抗ゼロ「エアベアリングシリンダ」特殊品対応
摩擦抵抗ゼロを実現。エアベアリングを採用した摩耗も発塵もないシリンダ。 小型、薄型、セラミック焼結体などのカスタム可能。
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【開発品】バッテリーレス 多用途センサ
液体検知センサの発電原理を応用し、 様々な外力の作用や物理変化を検知することが可能なバッテリーレス多用途センサを開発中！
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超薄型エアベアリングシリンダ「ACS-13.5-5」
業界最小・最薄型クラスを実現した摩擦抵抗0のエアベアリングシリンダ
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超小型エアベアリングシリンダ ACS-4-5
業界最小・最軽量クラスの超精密制御を実現する摩擦抵抗0のエアベアリングシリンダ
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精密位置制御ユニットのご紹介
サブミクロン位置制御を実現！コンパクトな設計ながら高い精度と応答性を両立
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