【半導体製造向け】パッシブ除振台
微細加工の精度を向上させる、高性能除振台
半導体製造業界、特に微細加工においては、外部からの微小な振動が製品の品質に大きな影響を与えます。加工精度が少しでも狂うと、歩留まりの低下や不良品の増加につながり、大きな損失を招く可能性があります。当社のパッシブ除振台は、微細加工における振動問題を解決し、安定した生産体制をサポートします。 【活用シーン】 ・露光装置 ・走査型電子顕微鏡（SEM） ・原子間力顕微鏡（AFM） ・ウェーハプローバ 【導入の効果】 ・加工精度の向上 ・歩留まりの改善 ・不良品の削減 ・安定した生産性の確保
基本情報
【特長】 ・搭載荷重に合わせて優れた除振特性を設計可能 ・独自の減衰機構により高い減衰性を実現 ・小型化も容易、用途に合わせたサイズ提案が可能 ・クリーンルーム環境下でも長年の実績有り ・ばね＋独自の減衰機構により特性劣化が無く、半永久的に使用可能 【当社の強み】 各種ゴム製品とコンポジット（複合化）技術を活かした製品の製造・販売を行っており、お客様の仕様に合わせた設計が可能です。
価格帯
納期
用途／実績例
電子顕微鏡 半導体製造装置
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取り扱い会社
工業用ゴム部品の他、流体制御機器、除振台およびその周辺機器、印刷機材、電気・電子機器、救難救命具等産業資材、ゴルフ用カーボンシャフトの製造販売等様々な分野で幅広く事業を展開しています。