【半導体製造向け】摩擦抵抗ゼロ エアベアリングシリンダ
半導体製造の精密位置決めをサポート。摩擦ゼロで高精度を実現。
半導体製造業界では、ウェーハや基板の位置決めにおいて、高い精度とクリーンな環境が求められます。特に、微細加工や組み立て工程では、わずかな摩擦や発塵が製品の品質に大きな影響を与える可能性があります。エアベアリングシリンダは、摩擦抵抗ゼロとクリーンルーム対応により、これらの課題を解決します。精密な位置決め制御と高い耐久性で、半導体製造の品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送 ・精密研磨装置 ・検査装置 ・組み立て工程 【導入の効果】 ・高精度な位置決め ・製品の品質向上 ・不良品の低減 ・クリーンルーム環境への対応
基本情報
【特長】 ・ピストン及びロッドのガイド部にエアベアリングを採用することにより、摩擦抵抗がゼロ。 ・多孔質金属焼結体エアベアリングの採用により、従来品よりも高い横剛性。 ・自由設計による特殊対応が可能 ・エアベアリングシリンダ「回転拘束仕様（複動タイプ）」による品質向上、不良品の低減、高耐久 ・エアベアリングシリンダ「銅イオンフリータイプ」による銅イオンフリー環境への対応 【当社の強み】 当社は、各種ゴム製品とコンポジット（複合化）技術を活かした製品の製造・販売を行っています。エアシリンダをはじめとする流体制御機器の開発・製造を通じて培った技術を活かし、お客様のニーズに合わせた製品を提供します。
価格情報
数量によって価格が変動しますのでお気軽にお問い合わせください。
納期
用途／実績例
精密かつ精度を必要とする装置にて採用されております。 ● 加工ヘッド部・センサヘッド部の自重キャンセル（バランサー） ⇒液晶貼り合わせ、三次元測定機 ● 精密押圧コントロール ⇒各種ボンディング、マウンター装置・半導体、液晶製造の周辺機器 ● 工作機械 ⇒ナノ加工機、研磨機、溶接機等 ● テンションコントロール ⇒高機能ファイバー加工機向け 弊社レギュレーター【RS】【RS.M/S】との組み合わせにより より高度な制御が可能になります。
関連動画
カタログ（4）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
工業用ゴム部品の他、流体制御機器、除振台およびその周辺機器、印刷機材、電気・電子機器、救難救命具等産業資材、ゴルフ用カーボンシャフトの製造販売等様々な分野で幅広く事業を展開しています。