【精密測定向け】超小型複動エアベアリングシリンダ
摩擦抵抗ゼロ。高精度な位置決めとクリーンな環境を実現。
精密測定の分野では、高精度な位置決めと微細な動きの制御が不可欠です。測定結果の正確性を左右するだけでなく、製品の品質や信頼性にも大きく影響します。従来のシリンダでは、摺動抵抗や発塵が測定精度を低下させる要因となっていました。本製品は、エアベアリング技術により、これらの課題を解決します。摺動抵抗ゼロ、発塵ゼロを実現し、高精度な測定を可能にします。 【活用シーン】 ・精密研磨装置 ・半導体製造装置 ・検査装置 【導入の効果】 ・高精度な位置決めと制御 ・クリーンな環境の実現 ・製品の品質向上
基本情報
【特長】 ・摺動抵抗ゼロ：エアベアリングにより、ロッドとガイド間の摩擦を排除 ・高精度な動作：微荷重・低速での精密駆動を実現 ・クリーンルーム対応：発塵を抑制し、クリーンな環境を維持 ・自由設計：お客様のニーズに合わせたカスタマイズが可能 ・高横剛性：多孔質金属焼結体エアベアリングの採用 【当社の強み】 当社は、各種ゴム製品とコンポジット技術を活かした製品を提供しています。エアシリンダをはじめとする流体制御機器の開発・製造を通じて培った技術力と、お客様の多様なニーズに応える柔軟な対応力で、最適なソリューションを提供します。
価格情報
数量によって価格が変動しますのでお気軽にお問い合わせください。
納期
用途／実績例
精密かつ精度を必要とする装置にて採用されております。 ● 加工ヘッド部・センサヘッド部の自重キャンセル（バランサー） ⇒液晶貼り合わせ、三次元測定機 ● 精密押圧コントロール ⇒各種ボンディング、マウンター装置・半導体、液晶製造の周辺機器 ● 工作機械 ⇒ナノ加工機、研磨機、溶接機等 ● テンションコントロール ⇒高機能ファイバー加工機向け 弊社レギュレーター【RS】【RS.M/S】との組み合わせにより より高度な制御が可能になります。
関連動画
カタログ（4）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
工業用ゴム部品の他、流体制御機器、除振台およびその周辺機器、印刷機材、電気・電子機器、救難救命具等産業資材、ゴルフ用カーボンシャフトの製造販売等様々な分野で幅広く事業を展開しています。