【半導体製造向け】ACS-13.5-5 エアベアリングシリンダ
半導体製造を向上させる、摩擦抵抗ゼロのエアシリンダ
半導体製造業界では、高精度な位置決めとクリーンな環境が不可欠です。特に、ウェーハや基板の搬送、精密な組み立て工程においては、微細な塵埃の発生や摩擦による位置ずれが、製品の品質を大きく左右します。従来のシリンダでは、摺動抵抗や発塵が課題となっていました。本製品は、エアベアリング技術により、ロッドとガイド間の非接触を実現し、摩擦抵抗をゼロに。さらに、クリーンルーム対応も可能で、半導体製造における厳格な要求に応えます。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送 ・精密研磨装置 ・半導体製造装置の位置決め 【導入の効果】 ・高精度な位置決めを実現 ・発塵を抑制し、製品の品質向上に貢献 ・クリーンルーム環境に対応
基本情報
【特長】 * 摩擦抵抗ゼロ：摩耗粉の発生を抑制し、高い清浄度を維持 * 薄型・小型：省スペース化に貢献 * 非接触構造：潤滑油の混入リスクを排除 * 高精度な位置制御：正確な動作を実現 * 単動押出形 【当社の強み】 当社は、各種ゴム製品とコンポジット技術を活かした製品を提供しています。エアシリンダをはじめとする流体制御機器の開発・製造を通じて、お客様の多様なニーズに応える技術力と実績があります。
価格情報
販売価格に関しましてはお問い合わせください。
価格帯
~ 1万円
納期
応相談
約2か月ほどです。詳細はお問い合わせください。
用途／実績例
半導体製造装置、医療機器、精密測定機器など、高度な精密制御が求められる多様な分野で活躍します。
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取り扱い会社
工業用ゴム部品の他、流体制御機器、除振台およびその周辺機器、印刷機材、電気・電子機器、救難救命具等産業資材、ゴルフ用カーボンシャフトの製造販売等様々な分野で幅広く事業を展開しています。