半導体工場の薬液の大量供給・分配向けフッ素樹脂バルブ
最大2インチ薬液大量供給! 高Kv値・省スペース化実現の薬液供給＆分配高純度フッ素樹脂バルブ
半導体生産工程の洗浄・エッチング等で使用される高純度薬液を大量に供給するフッ素樹脂バルブをご紹介します。1 1/4～2インチサイズの配管径に対応し、安定した大量供給を実現したバルブを発表しました。大型配管径にも関わらず省スペース・高Kv値を実現しました。世界の半導体工場にて安定した半導体生産を支えます。その他にもタンク下の大流量が必要な際はこちらのバルブを使用いただけます。
基本情報
【仕様】 サイズ：1 1/4～2" 接続：PFA溶接 ボディ材質：PFA ダイアフラム材質：PTFE/EPDM分離型 作動：ノーマルクローズ・ノーマルオープン 最高使用圧力：0.6Mpa 使用可能温度：-10～100℃ Kv値 1 1/4"…1225 l/min 2"…1225l/min
価格帯
納期
型番・ブランド名
CleanStar Actuator size 4
用途／実績例
半導体工場(国外)薬液供給・分配
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取り扱い会社
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。