半導体業界向け
半導体業界向け
半導体製造に関連したプロセスでお勧め製品のご紹介
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【集積/コンパクト化 マニホールドバルブ】 【薬液/純水配管用】
普通のバルブメーカーではありません！フィルターやセンサーなどを組合せた「ユニット集積バルブ」など要望に合わせて幅広く製作可能！
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【電動フッ素樹脂製コントロールバルブ】『GEMU C53』
半導体ウェットプロセスの流量/背圧制御に好適！電動モーター搭載のオールフッ素樹脂製バルブ【CMPスラリーにも対応】
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【有機溶剤/引火性液体に最適】帯電防止仕様のフッ素樹脂製バルブ
静電破壊による漏洩対策に！接液部に導電性PTFEを使用しているので、帯電を防止しながら腐食性流体に対応したバルブです！
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【薬液,純水用/Oリングフリー】フッ素樹脂製チャッキバルブ
薬液や純水ラインでの逆流防止に！接液部が全てPTFEなので様々な腐食性流体に対応しております。
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【短納期/低コスト】PFA製フレア継手/ チューブ各種
PFA製のフレア継手各種（ナットやエルボなど）やPFAチューブを低コスト、短納期で供給可能です！
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850 HP型 ハイピュリティ面積式流量計
高純度流体用 PVDF製フローメーター
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【スラリー/高純度薬液対応】 超音波流量計
計測管内の障害物が少なく、スラリーのような粘性流体にも高精度で対応可能なPFA製超音波流量計です！
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【スラリー/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
スラリーなどの研磨性流体に最適なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
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【高耐久/高純度流体向け】フッ素樹脂製ダイアフラムバルブ
デッドスペースが最小の構造で背圧にも強い堅牢なフッ素樹脂製ダイアフラムバルブです。
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【メタルフリー/薬液用】C30型フッ素樹脂製圧力計
高純度流体向けの高精度圧力計
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【メタルフリー/薬液用】C31型フッ素樹脂製圧力センサー
高純度流体向けの高精度圧力センサー
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ハイピュリティーマルチポートブロックバルブ
半導体産業向け 装置の小型・軽量化のための新提案
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