半導体製造における安定したスラリー供給！アプリケーション事例集
安定したスラリー供給を実現！GEMU 半導体製造向けスラリー供給アプリケーション事例
CMPスラリーの供給において、供給ループ内の流れの乱れはスラリーの凝集を引き起こす可能性があります。CMPスラリー内の粒子が均一に分散されるようにするために、CMPツールフィルターは上流側に接続されており、粗い粒子を除去します。GEMÜバルブブロックの流量最適化設計により、媒体の凝集が比較的少なくなります。これにより、フィルターの寿命が延び、交換間隔が長くなり、コスト削減につながります。 GEMÜ PC50 iComLineマルチポートバルブブロックの適合製品群 POU（Point of Use）ボックスの利点は、そのコンパクトさであり、システムの中間階層に組み込むことができます。これによりクリーンルーム内の空間を節約できます。さらに、ブロックの流量最適化設計により媒体の凝集を防ぐことができます。システムの構造に応じて、さまざまなカスタマイズ対応が可能です。
基本情報
【仕様】 ・PC50 iComLine カスタムオーダーメイドの高純度樹脂ブロックバルブ ※要お問い合わせください。 ・CleanStar サイズ：1/4"～1 1/4" 接続：Pllar Super 300・フレア・PrimeLock・チューブ出し・パイプ出し ボディ材質：PFA ダイアフラム材質：PTFE/EPDM 作動：ノーマルクローズ・ノーマルオープン・手動 最高使用圧力：0.6Mpa 使用可能温度：-10～150℃ 周囲環境温度：-10～60℃
価格情報
PC50 iComLine ※要お問い合わせください。 CleanStar C60・C67 ※約2～2.5か月程度
納期
型番・ブランド名
PC50 iConLine・CleanStar
用途／実績例
半導体製造 薬液供給装置 半導体製造 スラリー供給装置 半導体製造 有機溶剤供給装置 洗浄装置 CMP装置 他
詳細情報
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取り扱い会社
GEMÜ（GEMU）は最先端の製造工場における新技術開発力で価値を提供します。 私たちは世界中の製薬業界と強い繋がりを持ち、バルブ開発・改良に取り組んできました。その中で、無菌性が必須の「サニタリーダイアフラムバルブ」や、高い制御精度が求められる「半導体製造に特化したバルブ」等、多くの製品を取り揃えるに至りました。 全世界6か所の製造拠点を設け、世界50ヶ国以上でサービスを提供しています。 サニタリーバルブ市場においてリーディングカンパニーとして、多くのプラントで採用頂いています。 研究開発には積極的に取り組み、毎年売上の5％以上が開発投資に回されています。 おかげさまで、ドイツの経営経済研究所（IMWF）よりデジタル化を推進するテクノロジー企業として表彰されています。