高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ
シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ
※2024.12.11～13 SEMICON Japan 3Hall #3121ブースで出展・当製品を出展します！ シャフトモーターは高精度駆動・高精度位置決めを実現するリニア・モーターです。 このXYステージは… ♦上軸・下軸ともパラレル駆動を採用（2台のモーターを１台のアンプと１式のエンコーダーで駆動） ♦パラレル駆動を採用することで、中空構造のステージを実現 ♦無駄を排除した低姿勢でシンプル構造のXYステージ ♦ご所望の負荷条件・動作条件に対応したシャフトモーターを採用、カスタマイズ対応致します
基本情報
高精度ステップ送り 速度リップルのない等速性に優れた動作 俊敏なセトリングタイム（高速整定） など、シャフトモーターの特長をパラレル駆動においても実現したステージです
価格情報
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納期
用途／実績例
半導体製造装置・検査装置・修正装置など…
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取り扱い会社
自社開発の製造装置に組み込んだ当社独自の次世代型の円筒型リニアモーターである「シャフトモーター」の量産メーカーとして、同製品を市場に提案してから約30年の間、高精度化、高性能化、高付加価値化を図る装置メーカー様、計測・検査機器メーカー様、加工装置メーカー様など幅広くご活用頂いて参りました。 2023年春には当社発祥の山形県最上地域に位置する本社工場の第２回工場拡張を実施し、中国大連工場と合わせ、ますますお客様のニーズにお応えできる製品開発と製造体制を整備を進めております。 あらゆる製品の高精度化、高付加価値化、多様化が進むなか、より多くの機会で「シャフトモーター」をご活用頂けばと考えております。
