【性能編】シャフトモーターの高精度位置決めをUVWステージへ展開

摩擦のないシャフトモーターだから、精度劣化がない高精度位置決めステージ

最終更新日 2024年11月04日

【性能編】繰返し位置決め精度の高性能例を活かした製品例

高精度の繰返し位置決め精度を実現「シャフトモーター」

最終更新日 2024年11月01日

“シャフトモーター”　高精度・高効率を実現する円筒型リニアモータ

シャフトモーターで高精度・高効率を一歩踏み出してみませんか？

最終更新日 2025年10月09日

高精度半導体ウエハ・パラレルXYステージ

シャフトモーターの特長を活かした高精度駆動・高精度位置決めを実現するウエハ向けXYステージ

最終更新日 2025年10月17日

シャフトモーター『MELSERVO-J4』

技術と信頼を受け継ぎながら、想像を超えた進化へ

最終更新日 2024年09月13日

【性能編】速度リップルがなく、等速性を活かした製品例

速度リップルがなく、等速移動を実現できるリニア・モーター

最終更新日 2024年11月01日

【基礎編】シャフトモーターユニットの基本構成

シャフトモーターはサーボモーター…ボールねじからの置換えもシンプルに！

最終更新日 2024年11月01日

シャフトモーター『Sシリーズ』

従来のリニアモーターとは違うシンプルで多彩な特長・性能を持ったリニアシャフトモーター

最終更新日 2024年09月13日

シャフトモーター『Lシリーズ』

可動子とシャフトの隙間が広い！ロングストロークが可能なシャフトモーター

最終更新日 2024年09月13日

シャフトモーターとは？

優れた高速度・定速性！シャフトモーターについてご紹介します

最終更新日 2024年09月13日

【基礎編】シャフトモーターの動作原理

磁石の磁束を360度無駄なく有効利用！　効率的で剛性の高いリニアモーターです。

最終更新日 2024年11月01日

【機能編】シャフトモーターの機能的な使い方「パラレル駆動」

ガントリー（門型）に好適！　シャフトモーター「パラレル駆動」で同期作業なしに高精度ステージ構成が可能です

最終更新日 2024年11月11日

シャフトモーター『SXシリーズ』

小型シャフトに新たなシリーズが登場！従来モデルと比較して推力アップを図ったシャフトモーター

最終更新日 2024年09月13日

【性能編】シャフトモーターの高応答性を活かした製品例

高応答性で高精度で俊敏な動作を実現

最終更新日 2024年11月25日

シャフトモーターの高精度を半導体業界で！高精度の活用事例をご紹介

【SEMICON Japan出展】装置の高精度化や効率化に貢献するシャフトモーターの活用事例。製品のデモ動画も展示します

最終更新日 2025年12月09日

『SEMICON Japan2025』出展のご案内

2025年12月17日(水)〜19日(金)、東京ビッグサイトにて開催！

最終更新日 2025年12月09日