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半導体装置メーカー必見!丸型・角型クラッチドア式圧力容器

半導体デバイスのボイド対策に適した圧力容器など、小型から大型まで、半導体製造工程で必要な様々な用途の圧力容器を製作いたします!

羽生田鉄工所では、真空/加圧/加熱、等の雰囲気処理装置の仕様検討から設計・製作・組み立て・納品までをワンストップで行っております。 これまで半導体製造工程で使用する様々な装置向けの圧力容器を手掛けて参りました。 半導体デバイスのボイド対策に適した圧力容器の製作や新たな製造工法の研究などで試作機を作るお手伝いをさせていただくことが多いです。 ご要望に合わせて全てオーダーメイドで対応いたします。 新たな製造工法をご検討の場合、弊社常設の加圧加熱処理装置にて実験も可能です。 【特長】 ■φ250の小型容器からφ3000の大型容器まで製作いたします。 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.hanyuda.co.jp/products/clutchdoor/

基本情報

※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

納期

用途/実績例

【用途例】 ■ウエハと接着剤の貼り合せ、脱泡(加圧加熱) ■ウエハ乾燥(加減圧加熱) ■単結晶サファイア製造炉(試作) ■アニール処理、歪み直し(蒸気加熱、熱風乾燥) ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

詳細情報

丸型・角型『クラッチドア』制作事例集進呈!

その他資料

汎用オートクレーブ 常設試験機 「銀次郎」

製品カタログ

小型オートクレーブ 常設試験機 「ダンデライオン」

製品カタログ

株式会社羽生田鉄工所 会社案内

会社紹介資料

取り扱い会社

私どもはボイラ製造を通じ培ってきた技術を活かし、日本一の「クラッチドア」メーカーを目指して、「丸型」、「角型」のクラッチドア式圧力容器の製造・販売を事業の柱にして参りました。生産設備向け圧力容器として、各種産業の発展、生産技術の進歩とともにその用途も様々に広がっております。各種鋼板から産業機械を作り上げるまで、一貫して当社工場で製造を行っており、自社ブランドのきのこ培地殺菌装置、オートクレーブをはじめ、様々な処理装置等のOEMも手掛けております。研究開発部門を新たに設置し生産設備の高付加価値化に対応すべく技術力を向上させるとともに、「鍛冶屋の技術」をより磨き上げ価値ある製品づくりを今後とも続けて参りたいと思います。

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