光波動場三次元顕微鏡
従来の顕微鏡を超える性能 透体の傷や異物を可視化・定量化
㎚オーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能で、1ショットで高さ方向の情報が取得でき、非接触・非破壊・非侵襲で測定が可能な顕微鏡です。さらにフォーカス不要で、任意の面を高速でスキャンして測定位置を決定することが可能です。 特長 ・nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能 ・目視では確認できない透明材料の表面と接合界面を可視化 ・1ショットで瞬時に深さ方向の情報を取得可能 ・フォーカス不要で高速測定が可能 ・非破壊・非接触・非侵襲で測定が可能
基本情報
分解能 x,y691nm（ワンショット）、488nm（合成） 視野 x,y700×700μm 分解能 z10nm（位相差） 視野 z±700μm サンプルサイズ100×80×t20mm（汎用サンプルホルダ取付時） サンプルステージ微動XYステージ（自動） X:±10mm Y：±10mm 粗動ステージ X：129mm Y：85mm レーザー 波長 638nm 出力 0.39mW 以下 Class1 (測定試料への照射強度) サイズ （幅×奥行き×高さ）mm本体：505（W）×630（D）×439（H） ※PC、付属品は含まず 質量41kg 消費電力本体：290VA ※PC、付属品は含まず
価格帯
納期
型番・ブランド名
MINUK
用途／実績例
目視では見えない透明フィルム表面を可視化・定量化 nmオーダーの形状情報を非接触・非破壊・非侵襲で取得できます。ワンショットで深さ方向の情報も併せて取得することにより、目視では見えない透明フィルム表面の傷や欠陥の断面形状を可視化し数値化することが可能です。 透明フィルムの内部にあるフィラーを観察 目視では見えない透明フィルム内部にあるフィラーをワンショットで観察することができます。また、測定後に深さ方向へピントを変えていくことにより、各深さでのフィラーを識別することが可能です。 スライドガラス表面に形成された透明形状を可視化・定量化 目視では確認できない表面や内部に形成した透明構造物を迅速に可視化し数値化することが可能です。 スライドガラス上の変化していく透明形状をリアルタイム観察 ワンショット撮像モードでは、液体など刻一刻と変化する形状を可視化・数値化可能です。 動的に変化していく対象物の評価、動的な現象のメカニズム解明に活用できます。
