高周波パルス電源
最大500 kHz、2.5 kWの高周波繰り返しパルスを発生させる電源です。
基本情報
独自の技術でパルストランスを開発、高電圧・高周波パルスを実現しました。 最大出力電圧 :±10 kV ※1 最大繰り返し周波数 :100 kHz~500 kHz 電源電力: 1.0 kW~2.5 kW 入力電圧: 三相AC 200 V (50/60 Hz) ※1 負荷条件に依存します 詳細仕様についてはお問い合わせください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
ネクスファイ・テクノロジー株式会社
用途/実績例
大気圧プラズマ 液中プラズマ 成膜装置 その他