【半導体製造向け】高精度AC電源 AFCシリーズ
半導体製造における歩留まり向上を、安定した電源供給でサポート。
半導体製造業界では、製品の品質と歩留まりの向上が常に求められています。製造プロセスにおける電源の不安定さは、デバイスの誤動作や性能劣化を引き起こし、歩留まりの低下につながる可能性があります。AFCシリーズは、±1％の高精度な電圧制御により、安定した電源環境を提供し、半導体製造装置の安定稼働をサポートします。これにより、歩留まりの向上に貢献します。 【活用シーン】 * 半導体製造装置への電源供給 * 品質評価試験 * 海外向け製品の評価試験 【導入の効果】 * 歩留まりの向上 * 製品の信頼性向上 * 安定した製造プロセスの実現 【特長】 * ±1％の高精度な電圧制御 * 幅広い出力電力範囲（単相：10kVA~150kVA、三相：10kVA~800kVA） * 45～65Hzの周波数調整可能、オプションで100／120／200／240／400Hzにも対応 * 7インチまたは10インチのタッチスクリーンを標準搭載 * RS-232およびRS-485通信に対応
基本情報
【出力電力範囲(O/P Power)】 単相：10kVA~150kVA 三相：10kVA~800kVA 【出力電圧(O/P Voltage)】 0～155V (低電圧範囲) 0～310V (高電圧範囲) 【出力周波数(O/P Freq.)】 45～65Hz 調整可能 45-65, 100Hz / 120Hz / 200Hz / 240Hz / 400Hz (オプション) 【全高調波歪み(THD)】 ≦ 2% (Resistive Load) 【ロードレギュレーション率(Load Regulation)】 ≦ 1% (Resistive Load) 【効率(Efficiency)】 ≧ 90% at Max. Power - over 100kVA models, ≧ 85% at Max. Power 【力率の輸入(Input Power Factor)】 ≧ 0.9 at Max. Power - over 100kVA models, ≧ 0.85 at Max. Power
価格情報
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納期
型番・ブランド名
AFCシリーズ
用途／実績例
家庭用電化製品、電気・電子、認証機関、医療機器、照明などの分野での生産及び研究
