『Al ダメージレス絶縁膜 エッチング液』の開発』
林純薬工業株式会社 電子材料部
林純薬工業株式会社は、このほどシリコン酸化膜およびシリコン窒化膜（絶縁膜）エッチング向けとして、アルミニウム（Al）ダメージレス絶縁膜エッチング液を開発いたしました。 本エッチング液を使用することにより、Al やAl 合金を腐食せず、絶縁膜をエッチングすることが可能となり、Al やAl 合金を保護するための工程が不要となる為、製造工程全体のスループット向上も可能となります。 当社は、プロセス短縮による省エネルギー・省コストを重視した機能性薬液を、多くの企業へ向けて提案してまいります。
