AlダメージレスSiエッチング液（異方性）
Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 平滑なエッチング面の形成が可能です。 ・ デバイス表面の金属開口率に依存せずエッチングが可能です。 ・ エッチング液の劣化が少ないです。 ・ 前処理液として、Pure Etch ZE series（ Alダメージレス絶縁膜エッチング液）の使用を推奨します。 キーワード：ウェットエッチング、シリコン異方性エッチング
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この製品に関するニュース（2）
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セミコン台湾 ２０１２ 出展のご案内
弊社はセミコン台湾2012 において、銀ナノワイヤーエッチング液(ITO 代替透明導電膜向け)、GaN 膜(N 面)粗面化エッチング液(青色LED 向け)を中心に、下記のような各種エッチング液をSUMITRONICS TAIWAN 様のブースにて展示いたします。 ぜひ、この機会にお立ち寄りの上ご覧いただきたく、ご案内申し上げます。
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『Al ダメージレス絶縁膜 エッチング液』の開発』
林純薬工業株式会社は、このほどシリコン酸化膜およびシリコン窒化膜（絶縁膜）エッチング向けとして、アルミニウム（Al）ダメージレス絶縁膜エッチング液を開発いたしました。 本エッチング液を使用することにより、Al やAl 合金を腐食せず、絶縁膜をエッチングすることが可能となり、Al やAl 合金を保護するための工程が不要となる為、製造工程全体のスループット向上も可能となります。 当社は、プロセス短縮による省エネルギー・省コストを重視した機能性薬液を、多くの企業へ向けて提案してまいります。
取り扱い会社
私達は農薬標準品、環境ホルモン関連物質標準品含め、三千種類に及ぶ標準品を取り揃え、全国の各種研究所・調査機関に提供しております。 また、試薬だけでなく、電子工業用薬品の研究開発に取り組み、近年ではユーザーとの共同開発体制を構築し、新機能の提案、性能評価を行い、電子産業の発展を支えています。
