各金属膜エッチング液
各金属膜エッチング液
各金属膜エッチング液の製品のご紹介です。
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Alテーパーコントロールエッチング液
AlまたはAl合金膜を所望のテーパー角でエッチングします。
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Ag・Ag合金・Ag系積層膜エッチング液
Ag単膜、APC（Ag-Pd-Cu合金）などのAg合金膜単膜、またはAg/透明導電膜の積層膜エッチングに最適なエッチング液です。
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Cuエッチング液「Pure Etch C series」
Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。標準的な薄膜のエッチング用とCu/Ti積層膜の一括エッチング用を取り揃えています。
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Tiエッチング液標準品、Tiシード層エッチング液
Ti膜を良好にエッチングします。標準的な薄膜のエッチング用とTiシード層エッチング用を取り揃えています。
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Wエッチング液「Pure Etch W series」
W膜を良好にエッチングします。
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Crエッチング液「Pure Etch CR series」
Cr膜を良好にエッチングします。微細パターン形成を検討される場合には、濡れ性向上のための前処理液のご提案も行っています。
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ITOエッチング液「Clean Etch ITO series」
ITO膜を良好にエッチングします。a-ITOエッチング用とp-ITOエッチング用を取り揃えています。
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Auエッチング液「Pure Etch AU series」
Au膜を良好にエッチングします。Auめっきへのダメージ少なく、Auシード層エッチングが可能なシード層用エッチング液もあります。
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Al・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品
Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金などの積層膜を良好にエッチングします。
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Agナノワイヤーエッチング液
Agナノワイヤー膜を良好にエッチングします。フルエッチング用とパーシャルエッチング用を取り揃えています。
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水晶エッチング液「Pure Etch ZE series」
レジストや金属膜（Au、Crなど）によるマスクを腐食することなく、水晶を従来品より平坦な底面形状でエッチングします。
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AlダメージレスSiエッチング液（異方性）
Al、Al合金膜を腐食することなく、Siを良好に異方性エッチングします。
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Siエッチング液（等方性）
Si膜を良好に等方性エッチングします。等方性エッチング液標準品のほか、Si基板の薄化に最適な薄化用エッチング液もあります。
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