Cuエッチング液「Pure Etch C series」
Cu、Cu合金膜を良好にエッチングします。標準的な薄膜のエッチング用とCu/Ti積層膜の一括エッチング用を取り揃えています。
本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード：ウェットエッチング、銅
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この製品に関するニュース（8）
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『低メタル（UHP）グレード PGMEA』 製品化のご案内
この度、林純薬工業株式会社は、金属不純物 33元素 50ppt以下を保証したUHPグレードPGMEAを製品化いたしました。 当社三重工場に少量生産設備を設置し、サンプルワークを開始しております。 半導体材料用や超微量元素の分析用など、超低メタルが求められる分野に使用できるグレードとして、ご提案いたします。 ＜特長＞ ・精製による低メタル化 33元素 50ppt以下を保証 ・高精度分析による金属保証 ICP-MS/MS導入、分析技術の向上 ・品質管理の徹底 製造環境から供給容器までクリーンに管理 ・各種容器に対応 500ml、20L、200L ポリ容器 18Lキャニスター ほか ・第2弾開発中 PGME、乳酸エチル ほか □その他機能や詳細については、資料をご覧下さい。
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『水晶エッチング液』の開発 《水晶デバイス用》
林純薬工業株式会社は、この度、水晶デバイス向けとして、水晶エッチング液を開発いたしました。 水晶のウェットエッチングに用いられるエッチング液として、フッ化水素酸（以下 HF）や、HF とフッ化アンモニウム（以下 NH4F）の混合液が広く使用されていますが、様々な問題点がありました。 そこで、当社は独自技術により、エッチングによる断面形状のテーパー角の角度差を低減し、エッチング表面の平坦化、且つ厚みを均一にエッチングすることが可能となる水晶エッチング液を開発しました。 □その他機能や詳細については、資料をご覧下さい。
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『銀ナノワイヤーエッチング液』の開発 《ITO代替透明導電膜向け》
林純薬工業株式会社はこの度、ITO代替透明導電膜である銀ナノワイヤーをエッチングすることができる高性能エッチング液を開発しました。 銀ナノワイヤー透明導電膜はタッチパネル分野において、ITOに替わる透明導電膜として注目され、その開発が積極的に行われていますが、ITOに比べて配線パターンが目視で見え易いという特徴がある為、製品化の際には配線パターンを見え難くする技術が必要です。 そこで当社は、配線パターンを見え難くする事が可能となるエッチング液を、独自の技術によって開発しました。 □その他機能や詳細については、資料をご覧下さい。
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『GaN 膜（N 面）粗面化処理用エッチング液』の開発 《青色発光ダイオード（青色LED）用》
林純薬工業株式会社は、この度、青色発光ダイオードプロセスにおけるGaN 膜（N 面）の表面をエッチングし、粗面化（凹凸化）することができる高性能エッチング液の取り扱いを始めました。 粗面化（凹凸化）することで光取り出し効率が向上し、その結果、高い発光効率を得る事が可能となります。 当社は、青色LED の発光効率向上を支え、環境を重視した機能性薬液を、多くの企業へ向けて提案してまいります。 □その他機能や詳細については、資料をご覧下さい。
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『Al ダメージレス絶縁膜 エッチング液』の開発』
林純薬工業株式会社は、このほどシリコン酸化膜およびシリコン窒化膜（絶縁膜）エッチング向けとして、アルミニウム（Al）ダメージレス絶縁膜エッチング液を開発いたしました。 本エッチング液を使用することにより、Al やAl 合金を腐食せず、絶縁膜をエッチングすることが可能となり、Al やAl 合金を保護するための工程が不要となる為、製造工程全体のスループット向上も可能となります。 当社は、プロセス短縮による省エネルギー・省コストを重視した機能性薬液を、多くの企業へ向けて提案してまいります。
取り扱い会社
私達は農薬標準品、環境ホルモン関連物質標準品含め、三千種類に及ぶ標準品を取り揃え、全国の各種研究所・調査機関に提供しております。 また、試薬だけでなく、電子工業用薬品の研究開発に取り組み、近年ではユーザーとの共同開発体制を構築し、新機能の提案、性能評価を行い、電子産業の発展を支えています。
