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Al・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品

Al、Al合金またはMo、Mo合金の単膜や、Mo/Al/Mo、Mo合金/Al合金/Mo合金などの積層膜を良好にエッチングします。

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ サイドエッチが少なく、微細パターンの形成が可能です。 ・ エッチング速度とエッチング形状の面内均一性が良好です。 キーワード:ウェットエッチング、アルミニウム、モリブデン、AlCu、MAM、多層膜

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Al・Mo・Mo/Al/Mo積層膜用標準品「Pure Etch AS series」

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