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Alダメージレス絶縁膜エッチング液

Al、Al合金膜を腐食することなく絶縁膜を良好にエッチングします。 エッチング加工用とSi自然酸化膜除去用を取り揃えています。

本製品の特長は以下のとおりです。 ・ Al、Al合金を腐食しません。 ・ 良好な順テーパーを形成します。 ・ ウェットエッチングによるViaやPad形成に使用可能です。 ・Pure Etch 160( AlダメージレスSiエッチング液)の前処理液としても使用可能です。 キーワード:ウェットエッチング、SiO2、SiN、TEOS、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜

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Alダメージレス絶縁膜エッチング液「Pure Etch ZE series」

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