株式会社ヒューブレイン 公式サイト

表裏同時検査可能！1台でマクロ検査・ミクロ検査どちらもできるウエハ・チップ外観検査機。LED・半導体チップに好適。

【特長】 ○ウエハ工程、ダイシング工程で発生する外観欠陥を、高速かつ高精度で検査が可能 ○多様なパターンのチップの検査が可能 ○品種毎に可変の画像分解能（1.5～5µ）で検査が可能 ○組込用顕微鏡を使用してサブミクロンの分解能での検査が可能（オプション） ○画像特徴量の複合的な条件にて不良の分類分けが可能 ○一回で複数のレシピ（異なる画像分解能・照明・判定プログラム）を 　使用した検査が可能 ○オートローダーで連続供給、高速なNGチップの排除機構を装備 ○厚みの公差が150µmあるワークでも検査・排除可能 　（高速な高さ測定、高さ補正機能付き） ○全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能あり（オプション） ○シート越しでの裏面検査が可能（オプション） ○NGマーキング（インカー・レーザーマーカー）、バーコード自動読み取り可能 　（オプション） ○廉価タイプとしてオートローダーや排除機構を装備しないHS-256Gもあります 【詳しくはカタログダウンロード、またはお気軽にお問い合わせ下さい】

テーブルトップロボット仕様！低価格で高機能な卓上型外観検査機

【機器仕様（標準仕様）】 ■画像処理ユニット：HU-3120 295(W)×160(H)×410(D) ■ソフトウェア：Windows 多機能画像検査ソフト Hu-Dra ■カメラ：USB タイプ500万画素カメラ（カラー／モノクロ） ■照明：マルチリング照明＋同軸照明 ■カメラ可動範囲：最大350×400mm ■設置サイズ：850W×850D×870H mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

2軸回転ロボットを搭載！目視検査に近い外観検査装置が低価格で実現！

【ハンドユニットの特長】 ■斜めからのアプローチや先端の旋回動作を、必要最低限の軸構成で実現 ■設備のコストダウンにおすすめ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。