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画像分解能が選択可能!ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)

多種多様な機能搭載!320万画素の3CMOSカラーエリアカメラで検査を実施。

『ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)』は、ウエハダイシング後の チップを外観検査する装置です。 検査精度に合わせた画像分解能が選択可能。(約0.8μm~2.0μm/pixel) また、オプションで、表裏同時検査・NGチップリジェクト機能・ NGチップマーキング機能・全数の排除ミス・マーキングミスチェック機能・ ID読込み及びマッピングデータ出力機能がございます。 【特長】 ■多機能画像検査ソフトHu-Dra ■外観検査とNGリジェクトを平行して行う2ステージ仕様も選択可能 ■処理能力  ・外観検査時間:分解能1.5μm時 約2分(2inch:チップサイズ約1mm)  ・排除時間:3~6チップ/秒(チップサイズ、シートの種類により変動)  ・マーキング時間:インカーの場合3~4チップ/秒 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報

【機器仕様(例)】 ■カメラ  ・320万画素3CMOS カラーエリアカメラ(検査)  ・16,000画素モノクロラインカメラ(プレスキャン) ■装置サイズ  ・1,450W×1,640D×1,800H mm  ・パトライト、HEPA除く ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

納期

用途/実績例

【検査項目】 ■ダイシング不良(ワレ・欠け)、スクラッチ、変色、異物、パターンずれ、  パターン欠損レジスト残留、塗布不良、など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

ウエハチップ外観検査装置(ダイシング後)

製品カタログ

ウエハ外観検査装置(ダイシング前)

製品カタログ

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取り扱い会社

ヒューブレインの社員はそれぞれ個性豊かで、常により高いレベルの技術を目指しています。技術開発の仕事にはいつも試行錯誤が欠かせません。失敗を恐れず自由な発想で未知の分野にチャレンジできる環境を大切に考えています。 何ごとにもプラス思考を原則に、実力、実績本位の評価システムを取り入れ、ひとりひとりのやる気を育てることがよい仕事に結びつくと信じています。

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