ウエハ外観検査装置 ※検査内容に合わせた機能の選択が可能！
検査内容に合わせた機能の選択、豊富なオプション機能による高精度検査が可能なウエハ外観検査装置
当社が取り扱っている『ウエハ外観検査装置』について ご紹介いたします。 ウエハ工程で発生する外観欠陥を高速かつ高精度に検査可能。 検査対象はLSI、LD、Di、LED、パワー半導体、化合物半導体、MEMS。 検査例はカケ・ワレ、クラック、スクラッチ、パターン異常、異物、 塗布不良、ズレです。 【特長】 ■検査内容に合わせた機能の選択が可能 ・ミクロ検査、マクロ検査 ・カラー検査、モノクロ検査 ・エリアカメラ、ラインカメラ ・表面検査、表裏面検査 ■豊富なオプション機能による高精度検査が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【オプション機能】 ■エリアカメラ オートフォーカス機能 ■ラインカメラ オートフォーカス機能 ■微分干渉検査 ■AI 欠陥分類機能 ■反りウエハ搬送 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■ウエハ工程で発生する外観欠陥の検査 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（3）
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取り扱い会社
ヒューブレインの社員はそれぞれ個性豊かで、常により高いレベルの技術を目指しています。技術開発の仕事にはいつも試行錯誤が欠かせません。失敗を恐れず自由な発想で未知の分野にチャレンジできる環境を大切に考えています。 何ごとにもプラス思考を原則に、実力、実績本位の評価システムを取り入れ、ひとりひとりのやる気を育てることがよい仕事に結びつくと信じています。
