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小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現!】
クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置!シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着ができます!
最終更新日 2024年12月09日
2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』
フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能!真空及びガス置換雰囲気下での成膜に対応したスパッタリング装置!