ターボ分子ポンプ排気装置『HUVSシリーズ』
排気速度250L/秒と77L/秒から選べるターボ分子ポンプ排気装置！ポンプや真空計の組合せは自由に選択可能です！
『HUVSシリーズ』は、高圧縮比（圧縮比1×10の11乗）のターボ分子ポンプ を採用したターボ分子ポンプ排気装置です。排気速度250L/秒と77L/秒の 2種類をラインナップ。フルレンジ真空計を標準で搭載。 ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ同時起動とロータリーポンプ単独起動 の切替機能も装備しております。 【特長】 ■ラインナップは排気速度250L/secと77L/secの2機種をご用意 ■高圧縮比（1×10の11乗のターボ分子ポンプを採用） ■ターボ分子ポンプ・ロータリーポンプ同時起動と ロータリーポンプ単独起動の切替機能付き ■フルレンジ真空計を標準搭載（表示はTMPコントーラ） ■任意メーカの排気ポンプを選定可能 ■停電時の逆流防止対策でフォアバルブは自動リークバルブを搭載 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。
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