株式会社ハイブリッジ 東京営業所 公式サイト

『HMP-100』は、排気系により＜10^-4Paでの使用が可能な高真空仕様の 加熱マイクロプローバです。加熱温度は最大500℃で、10mm形状の サンプル加熱に対応します。TRIAXコネクタを採用することにより 1pA以下の電気測定が可能です。 【特長】 ■高真空仕様 　排気系により＜10^-4Paでの使用可能 ■加熱温度 　最大500℃対応 　10mm形状のサンプル加熱対応 ■低電流測定 　TRIAXコネクタを採用することにより1pA以下の電気測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（抜粋）】 ＜試料評価室＞ ■真空チャンバ：φ114×h84mm　SUS304／内面#400/外面#400＋電解研磨 ■フランジ：コンフラット規格 ■ベーキング：150℃対応 ＜測定部＞ ■プローブ数：4探針プローブ/タングステン針 ■測定最少電流：1pA以下（常温） ■対向プローブ間距離：417mm ＜加熱機構部＞ ■加熱温度：最大500℃ ■加熱機構制御：DC電源外部制御式PIDコントローラ ■温度センサ：K熱電対 ＜装置本体＞ ■装置架台 　・ゴム足付きベースプレート　310×310×25hmm（ゴム足含む） 　・プローバステージ用フレーム：アルミフレーム構造 ■主排気用バルブ：ICF70手動アングルバルブ＋ICF70/NW25変換ニップル ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。