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X線ウェーハバンプ自動検査装置『Six-3000』
ウェーハ内部のボイドへX線を用いて透過!基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査します
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シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置『X-CAS-2』
シリコンウェーハ内部の結晶欠陥ボイドを自動で検査!
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X線ウェーハバンプ自動検査装置『Six-3000』
ウェーハ上のはんだバンプの検査を自動で行うX線自動検査装置
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X線観察装置『IX-1610』
X線焦点寸法0.25μmの高解像度を持った解析用X線観察装置
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3次元ステレオ方式インラインX線検査装置ILX1000/2000
両面実装基盤の表面のみ検査が可能!3D断層検査にも対応 ※詳細解説資料進呈
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