X線観察装置『IX-1610』
X線焦点寸法0.25μmの高解像度を持った解析用X線観察装置
『IX-1610』は、世界最高クラスのX線解像度を持った 不良解析機能付きX線観察装置です。 世界最小クラスのX線焦点寸法0.25μmのX線管を 採用することで、高解像度を実現。 6軸制御により高機能観察、自動検査が可能です。 【特長】 ■160kV、0.2ｍA、0.25μm開放型マイクロフォーカスX線管採用 ■X線幾何学倍率：1,200倍 ■透過型ターゲットを採用 ■280万画素X線デジタルI.I管採用 ■透過型ターゲットを採用 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■6軸制御により高機能観察、自動検査が可能 ■360°回転ターンテーブル付、サンプル位置自動修正 ■カメラ60°傾斜機能付き、サンプル位置自動修正 ■自動検査機能、ボイド検査、ブリッジ検査など ■PC内蔵、24インチLCD、キーボード付属 ■12インチシリコンウエハー対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
