シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置『X-CAS-2』
シリコンウェーハ内部の結晶欠陥ボイドを自動で検査！
アイビットの『X-CAS-2』は、X線を用いてシリコンウェーハ内部の 結晶欠陥であるボイドを自動で検査する装置です。 X線による検査方式を採用することで、ウェーハの抵抗値に関係なく また、研磨前の状態（スライス直後）であっても検査が可能。 検査対象シリコンウェーハのサイズは12インチ、8インチで、 オプションで6インチを追加することができます。 【特長】 ■シリコンウェーハ内部のボイドを自動で検査 ■ウェーハの抵抗値に関係なく検査可能 ■研磨前の状態でも検査可能 ■12インチ、8インチ、オプションで6インチのシリコンウェーハが検査対象 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
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価格情報
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納期
用途／実績例
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