X線ウェーハバンプ自動検査装置『Six-3000』
ウェーハ内部のボイドへX線を用いて透過！基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査します
『Six-3000』は、ウェーハ上のバンブを自動で検査、判定を行う X線自動検査装置です。 ウェーハ内部のボイドへX線を用いて透過し、その透過画像からボイドの 直径（面積）を求め、基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査。 X線源にはマイクロフォーカスX線管を用いてX線受像部にはX線デジタル カメラを採用し、高解像度の画像を抽出。高精度ボイド検査が可能です。 この他に、シリコンウェーハ結晶欠陥ボイド検査装置『X-CAS-2』も ご用意しております。 【Six-3000特長】 ■ウェーハ上のバンプを自動で検査、判定を行うX線自動検査装置 ■ウェーハ内部のボイド（気泡）をX線を用いて透過 ■基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査 ■X線源にはマイクロフォーカスX線管を使用 ■X線受像部にはX線デジタルカメラを採用し、高解像度の画像を抽出 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【X-CAS-2特長】 ■ウェーハの抵抗値に関係なく検査が可能 ■検査対象シリコンウェーハのサイズは12インチ、8インチ ■X線作業主任者などの特別な資格は必要なし ■X線は完全に遮断されているため、安全に使用できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
