【半導体向け】電動ダイアフラムポンプ『QUANTM』
薬液供給の効率化とコスト削減を実現する電動ポンプ
半導体製造プロセスにおける薬液供給では、高純度かつ安定した供給が求められます。微細な異物混入や流量のばらつきは、製品の歩留まりに直接影響を与えるため、信頼性の高いポンプ選定が不可欠です。また、薬液の種類によっては、防爆性能や耐薬品性も重要な要素となります。当社の電動ダイアフラムポンプ『QUANTM』は、これらの要求に応え、既存のエア駆動ポンプからの置き換えにより、エネルギーコストとCO2排出量を最大80%削減しながら、安定した薬液供給を実現します。 【活用シーン】 ・高純度薬液の精密供給 ・防爆エリアでの薬液移送 ・クリーンルームでの使用 ・既存エア駆動ポンプからの置き換え 【導入の効果】 ・エネルギーコストとCO2排出量の削減 ・静音運転による快適な作業環境 ・コンプレッサーや外部インバーター不要による設備コスト削減 ・多様な防爆規格に対応
基本情報
【特長】 ■コンプレッサー不要 ■エネルギーコスト、CO2排出量を最大80%削減 ■静音運転(エア駆動最大110dB QUANTM最大77dB) ■防爆規格取得(非防爆,防爆C1D1, ATEX, IECEx, JPEx) ■外部インバーター不要 ■既存エア駆動ポンプから置き換え可能 【当社の強み】 イデア株式会社は、工業設備の腐食問題解決や流体設備機器の販売・修理を通じて社会資本の未来に貢献しています。コロコートジャパン株式会社のグループ会社として、高品質な製品と革新的なソリューションを提供し、お客様の多様なニーズにお応えします。グラコ社、ヘンケル社をはじめとする各種メーカーの代理店として、機器選定から販売、修理・メンテナンスまで一貫したサービスを提供しております。
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