イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2
高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現したベローズポンプ
基本情報
【洗浄効率の大幅な向上】 循環流量の向上により、パーティクル、ウェハー表面の金属汚染物、有機汚染物の除去効率が向上し、回路パターンの微細化による、洗浄時間の増加を抑えることが可能です。 【コンタミフリー設計】 接液部には、全てフッ素樹脂（PTEF,PFA）を使用し半導体用途で使用される酸、アルカリ、過水などの薬液移送が可能です。 また、ポンプの外周部もフッ素コーティングを施し、金属露出が無い設計です。 【重量低減】 部品形状を最適化することで、従来品の約30％の重量低減を実現
価格帯
納期
型番・ブランド名
FS-100HT2
用途／実績例
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取り扱い会社
弊社は豊富な品揃えであらゆる要求スペックに対応する、ケミカルポンプの総合メーカーです。超微量注入、大流量移送、純水、高粘度液、スラリー混入液・・・ケミカルポンプの用途は多方面にわたり、要求される内容もそれぞれ異なります。たとえば 強酸・強アルカリを厳しい条件下で扱うケミカルプロセスでは、耐食性能はもちろん耐久性・安全性が強く求められます。半導体プロセスではコンタミネーション、パーティクルの溶出のないことが、また食品製造プロセスではサニタリー性が必須条件となります。近年ではポンプをベースとした、制御システムやユニット化のニーズも増えています。弊社はこれらに対し「多品種主義」で臨みます。永年の経験と実績に基づいた、きめ細かな品揃えでお客様の要求に的確にお応えいたします。流体の移送に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。
