空気駆動ポンプ
空気駆動ポンプ
エアー駆動ダイヤフラムポンプは一般工業用から半導体製造用まで幅広く用意。エアー駆動ベローズポンプは半導体製造プロセスで多くの実績があるハイグレードシリーズです。
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エアー駆動ダイヤフラムポンプ TC 『高圧吐出で完全自給式』
金属タイプと樹脂タイプを合わせて100を超えるラインアップで、製造プロセスから機器搭載まで幅広く対応します。
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エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCA501BW 『固形物を移送』
大きな固形物やスラリー・スラッジの移送が可能。
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エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCR501 『SUS316L製』
SUS316L製のツインダイヤフラムポンプ。本体が回転する構造でメンテナンスや液の回収が簡単に行えます。
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![pneumatic_accessories_cf[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/dd7/2000458042/IPROS25047452329096286758.jpeg?w=280&h=280)
エアー駆動ダイヤフラムポンプ用ダンパー CF
最大98%(当社比)脈動を抑え、スムーズに液を移送。
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エアー駆動低脈動ベローズポンプ FLP 『ダンパー不要で低脈動』
低脈動移送が可能で付加追従性が向上!エアー消費量を最大30%削減
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エアー駆動ベローズポンプ FS-100HT2 『高温大流量移送』
高温大流量移送により、洗浄効率の大幅な向上を実現したベローズポンプ
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エアー駆動ベローズポンプ FS-N 『薬液供給に最適な大流量』
最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポンプ
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エアー駆動ベローズポンプ FS-H 『ダンパー不要で低脈動』
高速ストローク化で小型・軽量・ローコスト化を実現
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![pneumatic_bellows_cfd_01[1].jpg](https://image.mono.ipros.com/public/product/image/7a1/2000457813/IPROS14227225983763911289.jpeg?w=280&h=280)
薬液補充ポンプ CFD 『半導体プロセスの強酸・強アルカリ補充』
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。
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エアー駆動ディスペンサー SB 『レジスト塗布工程に最適』
半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。
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エアー駆動ダイヤフラムポンプ TCR255 『分解・洗浄が簡単』
高粘性液や固形物が混ざった液体の移送に好適。特殊工具を使わずに分解・洗浄が簡単
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ナノリンク システム
新しい薬液配管接続技術
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