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エアー駆動ベローズポンプ FS-N 『薬液供給に最適な大流量』

最大100L/minが移送可能なエアー駆動フッ素樹脂製大型ベローズポンプ

イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズは、高圧(0.6MPa以上)・大流量吐出が必要な薬液供給に最適な半導体プロセスポンプです。 【特長】 ●Max. 100L/minの大流量吐出。 ●接液部には全てフッ素樹脂を採用し、ポンプ外周部もフッ素樹脂コーティングを施しています。 ●ポンプヘッドとベローズは溶接一体構造、液漏れの心配がありません。 ●独自に開発したシャフトシールの採用で、パーティクルの発生が一段と少なくなっています。 ●リークセンサを標準装備。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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基本情報

【概略仕様】 ●最大吐出量:100L/min(清水20℃) ●使用液温度範囲:5〜60℃ ●供給エアー圧力範囲:0.2〜0.7 MPa ●最大エアー消費量:1495 NL/min ●主要材質:PTFE、PFA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せください。

価格情報

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納期

型番・ブランド名

イワキエアー駆動ベローズポンプ FS-Nシリーズ

用途/実績例

●半導体分野:薬液供給プロセス、他

エアー駆動ベローズポンプ Fシリーズ

製品カタログ

イワキ半導体プロセス関連機器製品ガイド

総合カタログ

取り扱い会社

弊社は豊富な品揃えであらゆる要求スペックに対応する、ケミカルポンプの総合メーカーです。超微量注入、大流量移送、純水、高粘度液、スラリー混入液・・・ケミカルポンプの用途は多方面にわたり、要求される内容もそれぞれ異なります。たとえば 強酸・強アルカリを厳しい条件下で扱うケミカルプロセスでは、耐食性能はもちろん耐久性・安全性が強く求められます。半導体プロセスではコンタミネーション、パーティクルの溶出のないことが、また食品製造プロセスではサニタリー性が必須条件となります。近年ではポンプをベースとした、制御システムやユニット化のニーズも増えています。弊社はこれらに対し「多品種主義」で臨みます。永年の経験と実績に基づいた、きめ細かな品揃えでお客様の要求に的確にお応えいたします。流体の移送に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。

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