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イワキ薬液補充ポンプ CFDシリーズ
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上。
1shot当り1mL、分注性能が大幅に向上 イワキより、イワキ薬液補充ポンプ CFDシリーズのご紹介です。 ■□■特長■□■ ■ウエハー洗浄液の濃度管理に 優れた精度で必要最少量の薬液を正確に注入。ウエハー洗浄液の濃度管理に最適です。濃度のオーバーシュートを抑え、洗浄液のコストダウンにも貢献します。 ■優れた耐食性 接液部品は全てフッ素樹脂（PTFE、PFA、PCTFE）で構成され、強酸、強アルカリ、過酸化水素水などの薬液に対応します。 ポンプ外部は樹脂およびコーティング済みのボルトを使用しています。 ■安全設計 圧縮空気を動力とする安全なエアー駆動ベローズポンプです。 サイホン防止機構により、薬液の流出を防ぎます。 CFD-1T-Bは、ベローズ破損を検知するリークセンサを標準装備しています。 ■幅広い吐出量範囲 柔軟な設定が行える仕様で、幅広い吐出量範囲をカバーします。 工場出荷時はCFD-1T-B：1mL/shot、CFD-8T-B：8ml/shotに設定されています。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。
基本情報
【概略仕様】 ■型式：CFD-1T-B・CFD-8T-B ■最大吐出量：1mL/shot・8mL/shot ■供給エアー圧力：０.15～0.3MPa ■最大エアー消費量：2.5NL/min注・5.4NL/min注 ■最大ストローク数：30spm ■主要材質：PTFE、PFA、PCTFE ■液温範囲：20〜60℃ 注：供給エアー圧力0.3MPa、ストローク数30spm、吐出圧力0.05MPaの場合 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
CFD series
用途／実績例
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取り扱い会社
弊社は豊富な品揃えであらゆる要求スペックに対応する、ケミカルポンプの総合メーカーです。超微量注入、大流量移送、純水、高粘度液、スラリー混入液・・・ケミカルポンプの用途は多方面にわたり、要求される内容もそれぞれ異なります。たとえば 強酸・強アルカリを厳しい条件下で扱うケミカルプロセスでは、耐食性能はもちろん耐久性・安全性が強く求められます。半導体プロセスではコンタミネーション、パーティクルの溶出のないことが、また食品製造プロセスではサニタリー性が必須条件となります。近年ではポンプをベースとした、制御システムやユニット化のニーズも増えています。弊社はこれらに対し「多品種主義」で臨みます。永年の経験と実績に基づいた、きめ細かな品揃えでお客様の要求に的確にお応えいたします。流体の移送に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。
