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イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。
『イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズ』は半導体製造プロセスのレジスト塗布工程をはじめ種々の要求に対応可能ポンプです。 ■□■特長■□■ ■高精度 フォトレジストをはじめ、薬液を精度良く計量・分注。 レジスト滴下量の最適化のため、1shot当りの分注精度を高め、サックバック（オプション）を取付けることにより吐出端からレジストのボタ落ちを防止。 ベローズ内部のデッドボリュームが極めて小さく、液が滞留しない構造。 シールレス構造と微速型シリンダーの採用でレジストの低速注入が可能。 フォトレジストへの空気混入を防止。 ■ステンレス・フッ素樹脂製 接液部材質は、ステンレス（SUS304）タイプと、フッ素樹脂（PTFE、PFA）タイプを用意。耐食性に優れ、液の汚染などもなく高解像度・高純度フォトレジスト等の液質管理にも安心。 ■軽量・コンパクト設計 ポンプ設置形態はタテ・ヨコ型どちらでも供給可能なスタイルを準備。 （SB-4K/5/6を除く。） システム組込みに最適な形状選択可能。 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せ下さい。
基本情報
【ポンプ概略仕様】 ■最大吐出量：100 mL/stroke ■最高吐出圧力範囲：0.05 – 0.1 MPa ■供給エアー圧力範囲：0.15 – 0.5 MPa ■最大エアー消費量：1.0 NL/stroke ■主要材質：SUS304 / PTFE、PFA ■液温範囲：20 – 60℃ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
型番・ブランド名
SB series
用途／実績例
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取り扱い会社
弊社は豊富な品揃えであらゆる要求スペックに対応する、ケミカルポンプの総合メーカーです。超微量注入、大流量移送、純水、高粘度液、スラリー混入液・・・ケミカルポンプの用途は多方面にわたり、要求される内容もそれぞれ異なります。たとえば 強酸・強アルカリを厳しい条件下で扱うケミカルプロセスでは、耐食性能はもちろん耐久性・安全性が強く求められます。半導体プロセスではコンタミネーション、パーティクルの溶出のないことが、また食品製造プロセスではサニタリー性が必須条件となります。近年ではポンプをベースとした、制御システムやユニット化のニーズも増えています。弊社はこれらに対し「多品種主義」で臨みます。永年の経験と実績に基づいた、きめ細かな品揃えでお客様の要求に的確にお応えいたします。流体の移送に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。
