エアー駆動ディスペンサー SB 『レジスト塗布工程に最適』
半導体製造プロセスにレジスト塗布工程に最適。
基本情報
【概略仕様】 ●最大吐出量：100 mL/stroke ●使用液温度範囲：15〜25℃ ●供給エアー圧力範囲：0.15〜0.5MPa ●最大エアー消費量：1.0 NL/stroke ●主要材質：SUS304/PTFE、PFA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
イワキエアー駆動ディスペンサー SBシリーズ
用途／実績例
●半導体分野：レジスト塗布工程
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取り扱い会社
弊社は豊富な品揃えであらゆる要求スペックに対応する、ケミカルポンプの総合メーカーです。超微量注入、大流量移送、純水、高粘度液、スラリー混入液・・・ケミカルポンプの用途は多方面にわたり、要求される内容もそれぞれ異なります。たとえば 強酸・強アルカリを厳しい条件下で扱うケミカルプロセスでは、耐食性能はもちろん耐久性・安全性が強く求められます。半導体プロセスではコンタミネーション、パーティクルの溶出のないことが、また食品製造プロセスではサニタリー性が必須条件となります。近年ではポンプをベースとした、制御システムやユニット化のニーズも増えています。弊社はこれらに対し「多品種主義」で臨みます。永年の経験と実績に基づいた、きめ細かな品揃えでお客様の要求に的確にお応えいたします。流体の移送に関するご用命ご相談は、まず当社へご一報ください。
