液体用フローメーター/コントローラー
液体用フローメーター/コントローラー
◆液体用フローメーター/コントローラーについて マスフローメーターと同じ原理を用いた液体用のフローメーター/コントローラー。高速応答で精度の高い計測・制御を行います。 対応液体:純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン これらの他にも対応できる場合もございます。詳しくはお問い合わせください。
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ALICAT製品~12000SLPM:納期4~8週間/マスフロー
混合ガスを含め1台で98種のガスに対応。±0.6% RDの正確さで高速応答。コントローラーは50ms-100msの制御応答。
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ALICAT(アリキャット)社マスフローメーター・コントローラー
ALICAT社(アリキャット)製 微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までラインナップ。双方向オプション。
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ALICAT 液体用フローメーター L シリーズ
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現!0.5CCMから10LPMまでラインアップをご用意
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ALICAT 液体用フローコントローラー LC/LCRシリーズ
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現!0.5CCMから10LPMまでラインアップをご用意
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