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Equilibar 真空パイロットレギュレーター

真空パイロットレギュレーター

ダイヤフラム上部の真空圧によってドームが加圧され、入口真空圧をこの「パイロット真空圧」にほぼ等しく制御します。ドーム上のパイロット真空圧は、手動または電子式の真空レギュレータを使用して調整でき、オープンループ制御またはクローズドループ制御方式で動作させることができます。真空パイロット制御方式の選択は、アプリケーションの性能要件によって異なります。 注: イクイリバール EVRは過酷な化学条件下にも対応していますが、当社の真空パイロットレギュレーターおよび継手は対応していません。真空パイロットを通る流れは、大気圧から真空供給ポンプの入口に向かうため、通常の運転中は真空パイロットに化学物質が流入することはありません。真空パイロットレギュレーターからは常に少量の漏れがあります。詳細については、安全設計ページの最下部をご覧ください。過酷な化学薬品を使用する場合は、アプリケーションエンジニアにご相談ください。

動作原理の詳細については、こちらをご覧ください。

基本情報

機械工学、電子工学、リモートセンシング

価格帯

納期

用途/実績例

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

ドーム式マルチオリフィスバルブ/背圧レギュレーター/真空レギュレーター

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