シリコンウェハ用圧力分布測定システム
歩留まりアップを圧力管理からサポート！
◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。 ◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。 ◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。 ◆測定データは２次元・３次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています（パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください）。
基本情報
◆シリコンウェハの大きさにより、センサーシートを用意しています。 ◆バッチ式だけでなく、毎葉式にも対応しています。 ◆センサーシートは厚さ約0.1mmと超薄型となっており、実使用に極めて近い状態での測定が可能です。 ◆測定データは２次元・３次元の画面で表示可能です。また、取り込んだデータは再生が可能で、解析の機能も充実しています（パソコンの使用可能機種は当社にお問い合わせください）。
価格情報
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納期
用途／実績例
◆シリコンウェハ研磨押付圧力分布 ◆CMP
