ＡＬＤプロセス用高速高耐久バルブ『TDFシリーズ』

高速開閉・高い応答安定性！特殊面間寸法や弁形状、耐腐食性材料ボディなど対応可能

最終更新日 2023年04月18日

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム対応のバルブ

最終更新日 2023年05月12日

『事例』 装置輸送時のバルブハンドル緩み防止対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』半導体ガス供給装置輸送時のリスクに先手を打つ。安全対策の事例を進呈中

最終更新日 2023年03月29日

『事例』 ヒューマンエラーによるバルブ誤操作対策 ※無料進呈中

『流路まるごと事例集』錠やタグ付きワイヤーでバルブをロック！バルブ誤操作対策の事例を進呈中

最終更新日 2023年03月29日

『事例』半導体製造装置　排気系ラインの省スペース化 ※無料進呈中

デバイスメーカーの求める装置の価値基準とは？　KITZSCTは排気系ラインの省スペース化設計/施工性向上をお助けします。

最終更新日 2022年11月01日

高温対応ダイヤフラムバルブ『ZDシリーズ』『ZDーKシリーズ』

高純度ガス系バルブ ZDシリーズ、ZD-Kシリーズは、シート部脱着交換可能かつ、高温環境下で使用可能なダイヤフラムバルブです。

最終更新日 2023年03月29日

高温対応・PFAシート部脱着可能なダイヤフラムバルブ

材料容器・半導体製造プロセスに適した、高純度ガス系バルブ。シート部脱着交換可能かつ、最高250度までの高温環境下で使用可能。

最終更新日 2023年05月12日